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TONiC™ UHV真空系列光學尺系統
商品編號：TONiC UHV
TONiC UHV將Renishaw的超輕巧型非接觸式編碼器系統引進超高真空應用，為客戶帶來更佳的運動控制性能。TONiC UHV讀頭將標準TONiC的優異性能引入讀頭。TONiC UHV讀頭在設計及建造上運用了UHV相容材質及加工技術，適合用於精細至10 -10 Torr的UHV條件。TONiC UHV光學尺及配件系列由真空相容材質及黏著劑製成，具備低放氣率並經過受證實的無塵殘留氣體分析(RGA)，適用於許多用途，包括晶片搬運／測試、科學儀器、光譜儀、真空檢驗設備等更多其他應用。
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TONiC與Ti介面結合，在線性和旋轉應用中，均可達到10 m/s的速度和低至1 nm的解析度。TONiC系統安裝快速簡便，提供寬鬆的安裝公差，按下按鈕即可進行校正。TONiC的動態訊號處理功能改善訊號穩定性，維持一般位於±30 nm以內超低的細分誤差，有助於實現優異的運動控制效能。
- 低功耗讀頭。
- 120°C烘焙温度。
- 極低氣體釋放率。
- 非接觸式光學尺系統。
- 極低的細分誤差(SDE) ±30nm。
- 10 mm×35 mm×13.5 mm（H×L×W）。
- 類比或數位輸出兼容，數位解析度可達1nm。
- 標配真空環境專用電纜，有效隔離射頻干擾(RFI)。
- 自動增益控制（AGC）確保信號強度長期恆定的可靠性。
